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氦氖激光器是發(fā)明時(shí)間最早、技術(shù)最成熟、應(yīng)用最為廣泛的激光器之一。由于氣體原子具有確定的能級結(jié)構(gòu),在外界電子激發(fā)下將發(fā)生能級躍遷,產(chǎn)生受激輻射發(fā)出激光,因此氦氖激光器產(chǎn)生的激光是波長純凈的單色光,波長誤差只有幾納米,并具有極大的相干長度,并且不受溫度波動(dòng)影響,加上諧振腔的作用,保障了激光輸出具有良好的準(zhǔn)直性(發(fā)散角只有幾個(gè)毫弧度)。在需要良好單色光、相干性和準(zhǔn)直性的場合,特別是精密測量領(lǐng)域,氦氖激光器具有廣泛應(yīng)用。氦氖激光器主要缺點(diǎn)是需要數(shù)千伏的高壓直流供電,電源易出故障,此外氦氖激光器僅有單一的紅光,沒有其他波長的光,選擇余地受限制。